航天、半导体领域都能用，“气体质谱仪”通过项目鉴定验收

近日，由中国航天科技集团有限公司五院510所承担的一工程产品替代研制科研项目“气体质谱仪”顺利通过项目鉴定验收。项目组历时2年，克服了研制周期短、项目技术难度大等不利因素影响，高效完成了关键技术攻关、初样机和正样机研制，并通过了第三方环境适应性、可靠性、电磁兼容性、安全性等各项试验。

气体质谱仪产品由分析器、控制器、射频电源升压模块和上位机应用软件等部分组成。在验收中，鉴定验收委员会在对产品审查项目研制总结报告、验收测试意见、鉴定资料审查意见和用户使用结论意见审查后，一致认为：项目提交的技术文件和设计图纸资料齐全规范，能够指导生产，同意该项目通过鉴定验收。

气体质谱仪产品不仅可以满足航天器等领域宽质量数气体成分探测需求，还可广泛应用于半导体制造、大科学工程等众多领域。