ZYGO ZMI4104  | 位移测量板 | 51154724-100  |  875EC-D1U-A  |  ELAU DB-5

型号：ZYGO ZMI4104

类别：位移 测量板

货期：现货

发货方式：顺丰/德邦

质保：一年

型号： 501A 2400 4004 4104(C)

轴/板的数量： 2 1 或 2 4

板卡类型： 外壳 6U VME 6U VME64x

最小光功率： 8.0 µW 1.9 µW 1.0 µW 0.07 µW

位置分辨率： 1.24 nm 0.31 nm 0.15 nm

最大速度： ±0.475 m/s ±2.1 m/s ±2.55 m/s

最大速度下的精度（σ）： 1.6 nm 0.5 nm 0.2 nm

循环误差补偿： 否 是

兼容的激光器： 7705 7702、7714 和 7724

注意：规格是针对双通干涉仪的。

测量板卡

ZMI™ 系列 – 位移测量干涉仪

ZMI位移 测量板

ZYGO ZMI4104  ZMI™ 位移测量板利用由 ZMI™ 激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移。

ZMI™ 501A 有一个便利的独立外壳，提供了两个测量轴。

ZYGO ZMI4104   ZMI™ 2400、4000 和 4100 系列板可提供亚纳米级的分辨率，适用于最具挑战性的位置计量应用。这些板卡可以模块化地添加到 VME 机箱中，支持扩展到多达 64 个测量轴。

ZYGO ZMI4104 | Displacement measuring board | 51154724-100 | 875EC-D1U-A | ELAU DB-5

Model: ZYGO ZMI4104

Category: Displacement measuring plate

Delivery time: from stock

Delivery method: SF Express/Deppon

Warranty: One year

Model: 501A 2400 4004 4104(C)

Number of shafts/plates: 2 1 or 2 4

Board type: Shell 6U VME 6U VME64x

Minimum optical power: 8.0µW 1.9µW 1.0µW 0.07µW

Position resolution: 1.24nm 0.31nm 0.15nm

Maximum speed: ± 0.475m /s ± 2.1m /s ± 2.55m /s

Accuracy (σ) at maximum speed: 1.6nm 0.5nm 0.2nm

Loop error compensation: No Yes

Compatible lasers: 7705 7702, 7714 and 7724

Note: Specifications are for dual-pass interferometers.

Survey board

ZMI™ Series - Displacement measurement Interferometers

ZMI displacement measuring board

The ZYGO ZMI4104 ZMI™ displacement measuring board uses optical signals from an interferometer driven by a ZMI™ laser source to calculate displacement.

The ZMI™ 501A comes in a convenient self-contained housing that offers two measuring shafts.

The ZYGO ZMI4104 ZMI™ 2400, 4000, and 4100 series boards provide sub-nanometer resolution for the most challenging position metrology applications. These boards can be added modularistically to the VME chassis, supporting expansion to up to 64 measurement axes.